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合作作者[TOP 5]
    伊福廷
    所在部门： 多学科研究中心
    研究方向： 同步辐射光刻，LIGA技术，MEMS，纳米岛光刻技术
    联系邮箱： yift@ihep.ac.cn
    备注： --
    伊福廷

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